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潔凈室空氣的流動(dòng)

        潔凈室的清潔度經(jīng)常受到空氣流動(dòng)的影響,換句話說,來自人、機(jī)房和建筑結(jié)構(gòu)的灰塵的移動(dòng)和擴(kuò)散是由空氣流動(dòng)控制的。



        無塵室采用HEPA和ULPA對(duì)空氣進(jìn)行過濾,粉塵收集率達(dá)到99.97~ 99.9999999999995%,通過該過濾器過濾的空氣可以說是非常干凈的。但是室內(nèi)清潔除了人以外,還有發(fā)塵源等機(jī)器,因此,有必要利用氣流將塵??焖倥懦鍪彝?。


        潔凈室內(nèi)的氣流式控制潔凈室性能的一個(gè)重要因素,一般潔凈室氣流速度在0.25 ~ 0.5米/秒之間,該地區(qū)的空氣速度屬于微風(fēng),易受人、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾變得混亂,雖然提高風(fēng)速可以抑制干擾的影響和保持清潔,但由于風(fēng)速的增加會(huì)影響運(yùn)營(yíng)成本的增加,所以應(yīng)該滿足的清潔水平的要求,提供最合適的風(fēng)速,達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)力供應(yīng),以達(dá)到經(jīng)濟(jì)效益。


        另一方面要實(shí)現(xiàn)潔凈室清潔的穩(wěn)定效果,勻一氣流的保持也是一個(gè)重要因素,如果不能維持統(tǒng)一的空氣,風(fēng)速不同,尤其是在壁面,氣流沿墻會(huì)發(fā)生渦流效應(yīng),很難實(shí)現(xiàn)高清潔度。


        垂直層流方向要保持氣流均勻,必須:

        (a)吹出面的風(fēng)速速度相同;

        (b)底板吸力面風(fēng)速速度相同。速度過低或過高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流現(xiàn)象發(fā)生,而在0.5m/s的速度下,氣流更加均勻。目前一般的無塵室,風(fēng)速在0.25m ~ 0.5m/s之間。


        影響潔凈室氣流的因素有很多,如工藝設(shè)備、人員、潔凈室裝配材料、照明設(shè)備等,同時(shí)對(duì)于分離點(diǎn)以上的空氣生產(chǎn)設(shè)備也要考慮。


        一般的工作站或生產(chǎn)設(shè)備表面上的氣流分流點(diǎn),應(yīng)設(shè)于無塵室空間與隔墻板間距2/3處,這樣可以使工人工作時(shí),氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),而將微塵帶走,如果分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方,將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?,?dāng)大部分空氣流向過制程區(qū)時(shí),作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面,工作臺(tái)因此會(huì)受到污染,降低產(chǎn)量。


        潔凈室內(nèi)障礙物如工作臺(tái)等,在氣流交界的地方會(huì)出現(xiàn)渦流現(xiàn)象,附近的地方潔凈度會(huì)降低,在工作桌面鉆上回風(fēng)孔,會(huì)使渦流現(xiàn)象減小到最小;正確選擇裝配材料和完善的設(shè)備布局也是避免渦流現(xiàn)象的重要因素。


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