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潔凈車間的溫濕度對生產有至關重要的作用，如果相對濕度控制車間不好，就有可能使房間整體性能退化，也會帶來一系列的影響。

1. 細菌生長。細菌和其他生物污染物(真菌、病毒、真菌、螨蟲)在相對濕度超過60%的環(huán)境中可以活躍的繁殖。有些菌落在相對濕度超過30%時生長。當相對濕度在40% ~ 60%之間時，細菌和呼吸道感染的影響最小，因此潔凈室的相對濕度應控制在一定范圍內。

2. 潔凈車間員工感到室溫舒適范圍。濕度范圍在40%到60%之間，這也是人類舒適的適度范圍。如果潔凈車間的濕度太高，人們會感到窒息。如果濕度小于30%，人們會感到皮膚干燥、開裂、呼吸不適和情緒不適，這將影響他們的工作。

3. 清潔車間相對濕度控制不佳，會產生靜電。當相對濕度超過50%時，靜電會迅速消散，但當相對濕度小于30%時，靜電會長期存在于絕緣體或不接地表面。潔凈車間相對濕度在35% ~ 40%之間是一個合適的范圍。半導體凈化室通常使用額外的控制來限制靜電積聚。

4. 如果潔凈車間的相對濕度控制不好，很容易造成潔凈車間的金屬腐蝕。許多化學反應的速度，包括腐蝕，會隨著相對濕度的增加而增加。所有暴露在潔凈室周圍空氣的表面會很快被至少一層水覆蓋。當這些表面由能夠與水反應的薄金屬涂層形成時，高濕度會加速反應。一些金屬，如鋁，可以與水形成一種保護氧化物，以防止進一步氧化。另一些金屬，如氧化銅，則沒有保護作用。

5.在相對濕度較高的潔凈室內環(huán)境中，高濃度的毛細力在顆粒與表面之間形成粘結，增加了顆粒與硅表面之間的粘結力。當相對濕度小于50%時，這種稱為開爾文濃度的效應并不重要，但當相對濕度在70%左右時，它就成為顆粒間粘連的主要力量。