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        單向流潔凈室也被稱為層流潔凈室，其氣流是從室內(nèi)送風(fēng)一側(cè)平行、直線、平穩(wěn)地流向相對應(yīng)的回風(fēng)側(cè)，它是將室內(nèi)污染源的污染物在未向室內(nèi)擴(kuò)散之前就被潔凈空氣壓出房間，送入的清潔空氣對污染源起隔離作用。單向流動潔凈室分為垂直流動潔凈室和水平流動潔凈室。

        垂直單向流潔凈室已廣泛用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)所需 ISO5 級或更嚴(yán)要求的潔凈度等級的潔凈室中，現(xiàn)目前它與微環(huán)境或各種類型的隔離裝置配合使用可以滿足超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)所需 ISO1 級、控制粒徑 0.1μm 甚至更嚴(yán)格的潔凈室中應(yīng)用。垂直單向流無塵室結(jié)構(gòu)簡單，靈活性好，易于達(dá)到嚴(yán)格的潔凈度。但建設(shè)和運營成本高。

        水平單向流潔凈室是一面?zhèn)葔M布高效過濾器送風(fēng)口送風(fēng)， 在相對的側(cè)墻上或潔凈室內(nèi)設(shè)隔墻并在同一側(cè)隔墻或在兩側(cè)隔墻上設(shè)回風(fēng)格柵（或中效器）回風(fēng)。這類潔凈室的特點是：建筑層高較小，便于布置燈具，高效過濾器安裝、維修容易，但沿氣流方向的潔凈度不同，下風(fēng)側(cè)空氣受上風(fēng)側(cè)的設(shè)備、人員的污染等。

        單向流動潔凈室主要用于電子工業(yè)和當(dāng)?shù)厣镏扑幧a(chǎn)地區(qū)。在生物醫(yī)藥產(chǎn)品生產(chǎn)中，主要采用層壓板或凈化臺或生物安全柜來滿足生產(chǎn)工藝要求。在電子工業(yè)中，微電子產(chǎn)品的生產(chǎn)或某些電子產(chǎn)品的生產(chǎn)需要有一個房間或一條生產(chǎn)線，甚至幾個生產(chǎn)工序都必須設(shè)置在100級以上的潔凈室，以滿足生產(chǎn)的要求。目前超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)，要求微?？刂屏?0.1μm、0.05μm，達(dá)到 1 級或更高級別的要求，為此，單向流潔凈室的空間布置已從“單層”布置發(fā)展到“多層”布置。

        “單層” 布置的單向流潔凈廠房如圖  所示例， 在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設(shè)有上、下技術(shù)夾層，在上技術(shù)夾層內(nèi)布置送風(fēng)管道、部分公用動力管線（主要包括自來水、純水、各類氣體或液體管道和電力、照明及通信線纜等），通過設(shè)在頂棚上的高效過濾器向潔凈生產(chǎn)區(qū)均勻送風(fēng)； 通過設(shè)在下技術(shù)夾層的回風(fēng)地板回風(fēng)至空氣處理裝置。供應(yīng)潔凈生產(chǎn)區(qū)所用的部分公用動力管線、設(shè)備和工藝生產(chǎn)用管線、設(shè)施等同層布置潔凈生產(chǎn)區(qū)的鄰近處。這種空間布置的靈活性較差，當(dāng)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝或產(chǎn)品數(shù)量擴(kuò)大時，進(jìn)行工藝平面布置調(diào)整較為困難，需要較長的技術(shù)改造時間，技改費用增加。 

        “多層”布置的單向流潔凈廠房，這種布置的主要特點是將潔凈生產(chǎn)區(qū)與供應(yīng)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝所需的各類公用動力管線、 產(chǎn)品生產(chǎn)工藝管線及設(shè)施布置在下技術(shù)夾層內(nèi)，同潔凈生產(chǎn)區(qū)分層布置。如果工程投產(chǎn)后需進(jìn)行生產(chǎn)工藝調(diào)整或產(chǎn)品產(chǎn)量擴(kuò)大時，僅需將潔凈生產(chǎn)區(qū)的平面布置進(jìn)行調(diào)整、改造，而與潔凈生產(chǎn)區(qū)相關(guān)的風(fēng)管、公用動力管線和生產(chǎn)工藝管線、設(shè)施都布置在下技術(shù)夾層內(nèi)，這樣可以比較方便地根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝調(diào)整、變化的需要進(jìn)行相應(yīng)的改造，技術(shù)改造的費用可以減少，所需時間也可以縮短。