1.亂流式:
空氣經由無塵室的風管和空氣過濾器(HEPA)通過空調箱進入無塵室,回到無塵室或高架地板兩側兩個隔間的無塵室。氣流不是直線型運動,而是不規(guī)則的湍流或渦流狀。適用于1000~100000級無塵房間。
優(yōu)點:結構簡單,系統(tǒng)成本高,易于擴大無塵室。在一些特殊的使用場所,可并用無塵工作臺來提高無塵室的水平。
缺點:湍流引起的粉塵顆粒不易排出。此外,如果系統(tǒng)停止并重新啟動,則需要很長時間才能達到所需的清潔度。
2.層流式:
層流式空氣氣流運動成一均勻的直線形,空氣從覆蓋率100%的過濾器進入房間,并由高架地板或兩側隔墻板回風,這種類型的裝配式(模塊式)潔凈室,需要使用一個高水平的環(huán)境,一般層流式無塵室等級為Class 1~100,可分為兩類:
(1)水平層流式:水平氣流通過側壁回流空氣系統(tǒng)從水平方向吹出,粉塵被風排出。一般來說,下游的污染較嚴重。
優(yōu)點:結構簡單,運行時間短。
缺點:施工成本高于湍流型,室內空間不易擴張。
(2)垂直層流式:房間頂棚完全位于ULPA過濾器罩內??諝饪梢酝ㄟ^吹掃進行清潔,可以獲得更高的潔凈度,制造過程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外,不會影響其他工作區(qū)域。
優(yōu)點:易于管理。運行后能在短時間內達到穩(wěn)定狀態(tài)。不容易受到操作狀態(tài)或操作人員的影響。
缺點:施工成本高,彈性運用空間肖,吊頂空間大,過濾器維修更換麻煩。
3.混合類型:
復合型即合理同時使用亂流型和層流型??商峁┚植砍瑑艨諝?/span>
(1)潔凈隧道:用HEPA或ULPA過濾器使覆蓋工藝區(qū)或工作區(qū)達到100%,使?jié)崈羲淼赖那鍧嵍忍岣叩?0級以上,節(jié)約安裝和運行成本。
這種類型需要將操作者的工作區(qū)域與產品和機器的維修分開,以避免機器維修對工作和質量的影響。大多數(shù)ULSI工藝采用這種類型。
潔凈隧道有兩個優(yōu)點:
a.易彈性膨脹;
b.設備維護容易在維修區(qū)域內進行。
(2)清潔管:通過生產過程包裝和凈化自動生產線,提高清潔度100以上。由于產品與操作員之間的分離和粉塵環(huán)境,少量的空氣供應可以得到良好的清潔、節(jié)能,沒有手動的自動化生產線是最適合使用的。適用于制藥、食品和半導體行業(yè)。
(3)安裝和安裝局部潔凈點:將裝配式(模塊式)潔凈室產品制造工藝區(qū)的潔凈度從裝配式(模塊式)潔凈室的10000級至100000級提高到10~1000級以上,生產清潔工作臺、潔凈工作棚、潔凈空氣柜等。屬于這一類。
潔凈臺:1~100級。
潔凈工作棚:為在裝配式(模塊式)潔凈室空間無序流動的情況下,將靜電透明的塑料圓片導入一個小空間,獨立的HEPA和ULPA或空調送風單元和更高級別的裝配式(模塊式)潔凈室,水平10~1000,高度2.5米,在COV下。占地面積約10平方米,有四根柱子和車輪配備活動,可用于彈性。
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